凍干機(jī)技術(shù)中要測(cè)量的壓力范圍為105~1Pa,屬于低真空與中真空范圍。但常會(huì)有可凝性氣體(以水蒸氣為主,也有油蒸汽),還伴隨著溫度變化和凍干機(jī)設(shè)備內(nèi)溫度的不均勻等情況。因此在選擇凍干機(jī)的真空計(jì)和進(jìn)行測(cè)量時(shí),必須注意實(shí)際的工藝條件及其對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。目前在凍干機(jī)中主要應(yīng)用的真空測(cè)量?jī)x表有以下幾種。
1、熱導(dǎo)式真空計(jì)(熱偶真空計(jì)、電阻真空計(jì))。
2、電容薄膜式真空計(jì)。
3、彈性式真空表。
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